产品简介
机床适用于同轴非球面和螺旋表面车削加工，慢刀伺服（旋转式）进行自由曲面加工，栅式飞刀技术进行自由曲面、线性衍射面以及光学棱形结构加工，配备有优化空气隔震系统。
性能特点
1、适用于同轴非球面和螺旋表面车削加工，慢刀伺服（旋转式）进行自由曲面加工，栅式飞刀技术进行自由曲面、线性衍射面以及光学棱形结构加工；
2、专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴 - 全转速范围内主轴跳动小于 12.5纳米，C轴反馈分辨率为 0.01弧秒；
3、业界领先的8.4皮米光栅尺反馈分辨率；
4、标准加工口径650mm，可定制更大加工口径；
5、Delta Tau 控制软件 - 程序预读能力40,000句；
6、通过网络可进行实时设备监控以及远程操作控制；
7、NanoSMART™ - 业界首款触摸屏操作界面，应用了大量新功能，其中包括能运行文件大小高达5GB的程序；
8、可选配件：旋转工作台B轴，主轴内置任意定位控制C轴，微磨削以及微铣磨附件，快刀伺服系统，光学对刀仪，喷雾式冷却系统，真空卡盘，微调式刀座，NanoCAM 2D非球面光学元件编程软件，机床在线测量和误差补偿系统（WECS），以及温控系统。
技术参数
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主机 |
描述 |
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系统配置 |
超精密3,4 或5 轴CNC 机床，用于同轴非球面和螺旋表面车削加工，慢刀伺服(旋转式)进行自由曲面加工，栅式飞刀技术进行自由曲面、线性衍射面以及光学棱形结构的加工 |
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最大加工范围 |
直径650mm x 长300mm（可定制更大的加工口径） |
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床身结构 |
整体式复合聚合物花岗岩，内置冷却槽，具有极好的热稳定性 |
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隔震装置 |
优化空气隔震系统。可选配自动调平阻尼式空气隔震系统 |
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计算机配置 |
Intel i5 2.4 GHz 处理器，64 位Windows 7 专业版，16G 内存，10/100/1000 以太网接口，CD-RW / DVD 光驱以及500GB 硬盘，22”多点触摸屏，USB 接口 |
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控制系统 |
Delta Tau 系统，嵌入式1GHz， 64 位运动控制器， Nanotech 新触控操作界面，基于Windows 7 环境 |
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编程分辨率 |
线性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001° |
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性能展示（使用激光干涉仪或者白光干涉仪测量同一个元件) |
材料 – 高纯度铝合金 （所有精度的测量同一个元件的同一表面） 面型精度(P-V): ≤ 0.1μm / 75mm 口径,，250mm 曲率半径凸球面. 表面粗糙度(Ra): ≤ 3.0 nm(测试元件在X-Z 和Y-Z 面车削) |
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主轴 |
标准指标 |
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类型 |
专利耐撞击多孔石墨涂层空气轴承 |
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主轴恒温冷却 |
通过闭环控制冷水机，提供温度控制循环冷却水，透过环绕在空气轴承主轴的马达和轴颈管道进行冷却，以达到维持主轴和刀具中心热稳定的重复性。冷水机带有控制精度为±0.5°F 的内置PID 控制器。 |
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安装 |
嵌入式安装于Y 轴托架，以增强外圈刚性并降低热增长。主轴轴心安装于绝热外壳内以增强热稳定性 |
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转速范围 |
50 至10,000 rpm（双向） |
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加工口径 |
650mm |
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承载能力（径向） |
85 Kg @ 7bar (185 lbs @ 100psi.) / 102 Kg @ 10bar (225 lbs @ 145psi.) @ 鼻端 |
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承载能力（轴向） |
180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @ 鼻端 |
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径向刚性（鼻端） |
130 N/um @ 7bar (743,000 lbs/in @ 100psi) |
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轴向刚性 |
438 N/um @ 7bar (2,500,000 lbs/in @ 100psi) |
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驱动系统 |
无刷直流电机 |
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运动精度 |
轴向: ≤ 12.5 nm 径向: ≤ 12.5 nm |
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线性轴 |
X |
Z |
Y（垂直）-- 选配 |
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类型 |
全约束式油静压，闭式导轨 |
全约束式油静压，闭式导轨 |
全约束式油静压，闭式导轨，并配置空气轴承适应控制器，用于平衡重力和不同的负载 |
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行程 |
350mm |
300mm |
150mm |
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驱动系统 |
无刷直流直线电机 |
无刷直流直线电机 |
无刷直流直线电机 |
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反馈类型 |
激光全息线性光栅尺 |
激光全息线性光栅尺 |
激光全息线性光栅尺 |
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反馈分辨率 |
0.008 nm |
0.008 nm |
0.008 nm |
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进给速度 (最大) |
2000mm/min |
2000mm/min |
2000mm/min |
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直线度 |
全行程0.3μm |
全行程0.3μm |
全行程0.5μm （ 中心100mm 0.3μm） |
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静压油装置 |
紧凑，低流量，低压力系统，配备封闭式循环伺服控制以及使气泵脉动最小化的压力积蓄装置 | ||
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选配旋转轴 |
B |
C（主轴选配） |
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类型 |
油静压轴承 |
空气轴承沟槽补偿(液体冷却) |
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行程 |
360° (双向) |
360° (双向) |
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驱动系统 |
无刷直流电机 |
无刷直流电机 |
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轴向刚性 |
875 N/μm |
详见上述主轴指标 |
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径向刚性 (鼻端) |
260 N/μm |
详见上述主轴指标 |
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定位精度 |
± 1.0 弧秒（经补偿） |
± 1.0 弧秒（经补偿） |
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反馈分辨率 |
0.005 弧秒 |
0.01 弧秒 |
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最大速度 (定位模式) |
50 rpm |
3,000 rpm |
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运动精度 |
轴向: ≤ 0.1μm 径向: ≤ 0.1μm |
轴向: ≤ 12.5nm 径向: ≤ 12.5nm |
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应用要求 |
Air 空气 |
Electrical 电子 |
Floor Space 底面空间 |
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为优化车削结果，热稳定性应被控制在±0.5°C (±1.0°F)以内 |
7 to 10 bar (100 – 145 psi) 280 liters/min (10 scfm) 过滤10 μm 以上微粒 干燥至 10°C 压力露点 |
208 - 480 VAC; 50 / 60hz; 3 Phase (11kVA) |
1.8m 宽 x 1.8m 长 x 2m 高 重量约3,180 Kg(包括机床外壳和电柜，但不包括控制台等外围设备) |
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Warranty 保修 |
所有部件保修期为一年 |
