性能特点
1、专利耐撞击多孔石墨涂层空气主轴 - 全转速范围内主轴跳动小于 12.5纳米，C轴反馈分辨率为 0.01弧秒；
2、业界领先；8.4皮米光栅尺反馈分辨率；
3、Delta Tau 控制软件 - 程序预读能力40,000句；
4、通过网络可进行实时设备监控以及远程操作控制；
5、 NanoSMART™ - 业界首款触摸屏操作界面，应用了大量新功能，其中包括能运行文件大小高达5GB的程序。
技术参数
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主机 |
描述 |
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系统配置 |
2 轴、3 轴或4 轴超精密CNC 非球面研磨系统 |
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主轴加工范围 |
直径100mm（XZ 或XZB 磨削加工），直径250mm（单点金刚石车削） |
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基本架构 |
整体式复合聚合物花岗岩，内置冷却槽，具有极好的热稳定性 |
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隔震装置 |
三点优化自平衡阻尼式空气隔震系统 |
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计算机配置 |
Intel i5 2.4 GHz 处理器，64 位Windows 7 专业版，16G 内存，10/100/1000 以太网接口，DVD 光驱以及500GB 硬盘，22”多点触控显示器，USB 接口 |
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控制系统 |
Delta Tau 系统，嵌入式1GHz，基于Windows 7 的Nanotech 新触控操作界面 |
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编程分辨率 |
线性分辨率0.01 nm / 角度分辨率0.0000001° |
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性能展示（使用激光干涉仪或者白光干涉仪测量同一个元件) |
材料 – 碳化钨(使用同一个元件的同一面型测量以下精度) 面型精度(P-V): ≤ 0.15μm --12.7mm 口径,，125mm 曲率半径凸球面. 表面粗糙度(Ra): ≤ 5.0 nm
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主轴 |
标准指标 |
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类型 |
径向沟槽补偿空气轴承，带中心插板 |
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主轴恒温冷却 |
通过闭环控制冷水机，提供温度控制循环冷却水，透过环绕在空气轴承主轴的马达和轴颈管道进行冷却，以达到维持主轴和刀具中心热稳定的重复性。冷水机带有控制精度为±0.5°F 的内置PID 控制器。 |
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转速范围 |
50 至10,000 rpm，双向转动（转速在2,000rpm 以上需要配置液体冷却） |
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工件回转口径 |
100mm（XZ 或XZB 磨削加工），250mm（单点金刚石车削） |
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承载能力（径向） |
85 Kg @ 7bar (185 lbs @ 100psi.) / 102 Kg @ 10bar (225 lbs @ 145psi.) @ 鼻端 |
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承载能力（轴向） |
180 Kg @ 7bar (397 lbs @ 100psi.) @ 鼻端 |
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径向刚性（鼻端） |
130 N/um @ 7bar (743,000 lbs/in @ 100psi) |
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轴向刚性 |
438 N/um @ 7bar (2,500,000 lbs/in @ 100psi) |
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驱动系统 |
无刷直流电机 |
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运动精度 |
轴向: ≤ 12.5 nm 径向: ≤ 12.5 nm |
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C 轴 附件 |
描述 |
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定位精度 |
± 1.0 arc seconds (compensated) |
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反馈分辨率 |
0.01 arc seconds |
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最高转速 |
3,000 rpm |
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运动精度 |
轴向 ≤ 12.5nm (0.5μ”) 径向≤ 12.5nm (0.5μ”) |
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研磨轴 |
描述 |
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类型 |
空气轴承（若用冲液加工需额外选配制冷机） |
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转速范围 |
5,000 至60,000 rmp |
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轴向刚性（鼻端） |
6 5 N/μm |
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径向刚性（鼻端） |
20 N/μm |
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驱动系统 |
无刷直流电机 |
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运动精度（最高50000 转） |
轴向: ≤ 50 nm 径向: ≤ 50 nm |
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轴系 |
X轴 |
Z轴 |
B轴(回转轴，选配) |
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类型 |
全约束油静压，闭式导轨 |
全约束油静压，闭式导轨 |
油静压 |
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行程 |
330mm |
150mm |
360º（双向） |
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驱动系统 |
无刷直流直线电机 |
无刷直流直线电机 |
无刷直流直线电机 |
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反馈类型 |
激光尺 |
激光尺 |
编码器 |
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反馈精度 |
0.008nm |
0.008nm |
0.002弧秒 |
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最大进给速度 |
2000mm/min |
2000mm/min |
50 rpm |
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直线度/运动精度 |
0.3 μm |
0.3 μm |
轴向: ≤ 0.1μm (4μ”) , 径向: ≤ 0.1μm |
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静压油系统 |
温控油静压系统，全封闭回路伺服控制，带蓄压器减少脉动 | ||
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配套要求 |
压缩空气 |
电源 |
占地面积 |
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为优化车削结果，热稳定性应被控制在±0.5°C (±1.0°F)以内 |
7 to 10 bar (100 – 145 psi) 280 liters/min (10 scfm) 过滤10 μm 以上微粒 干燥至 10°C 压力露点 |
230 VAC; 50 / 60hz; 3 Phase (11kVA) |
1.9m 宽 x 1.8m 长 x 1.7m 高 重量约4260 Kg(包括机床外壳和电柜，但不包括控制台等外围设备) |
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保修 |
所有部件保修期为一年 |
