精密测量技术新世纪如何迅速发展（4）

　　在通常情况下，作为生产现场使用的测量机具，必须保证在整个测量过程中具有良好的操作性能，而且必须力求节省所占用的空间。如三丰公司开发出一种柔性测量装置QM-Measure，这是专门为在加工现场测量复杂形状而研制的袖珍型三坐标测量机，特点是操作简便，价格低廉。

西铁城公司开发出一种电动测微仪用的小型上置式DTM-C系列，实现了生产设备机械小型化和高精度化，进深达7cm，而体积却减小了2/3，非常便于安装在其他生产设备上使用，该装置的最小分辨率为0.1μｍ。 　　

　　RENISHAW公司专门为加工中心和车床开发了一种非接触式工具检测系统NC1，这是一种高速非接触式测量系统，能快速进行工具长度、直径的测量，该系统的特点是可在激光束的任意位置上对工具进行测量，测量范围0.2～0.8mm，分辨率为1μｍ。NC1系统采用了新型激光技术，既可保证测头的精度特性，又便于安装，且无需作特别的维护。该系统在正常情况下，其使用寿命可达100万次测量。 　　

　　在超精密及半导体零件的检测等方面，要求测距仅约1nｍ。以往nm级精度的测量大都依靠激光干涉仪，激光干涉仪是利用光的波长作为测量基准，光线随着通过的媒体折射率的不同而变化，因此，进行高精度测量时，还必须进行精密的补偿。HEIDENHAIN公司开发出一种高精度高分辨率测长系统LIP382/372，可取代以往的激光干涉仪。该系统的测量基准是固定的，因此，不易受气压、温度等空气变化的影响。LIP的刻度尺是在Zerodur玻璃陶瓷上采用TITANID格栅，可以刻出非常细小的刻度；刻度尺的纵向距离可保持0.5μｍ精度，其重复精度极高，只需进行简单的补偿，在小于1mm距离内的测量精度可达数nm，而且其信号非常稳定。 　　

　　综观当前精密测量技术的发展状况，有如下一些特点：普遍追求高速、高精度、系统化、网络化；为了便于在线测量，各公司正在大力开发小型化的精密测量装置；为了增强市场竞争能力，生产厂家均在努力加强质量管理，降低生产成本。随着全球IT产业的蓬勃发展，精密测量领域也不断开发出适应IT特点的测量机产品。可以预计，面对新世纪的需求，精密测量技术将进一步集约化，产品结构更为紧凑，操作性能进一步提高，自动化水平也必将提升到新的档次。当然，各厂家高性能产品之间的竞争也必然更加激烈，谁抢先拥有高精尖的测量技术，拥有先进的管理系统，谁就将在竞争中稳操胜券。

本篇文章来源于 “中国金属加工在线”