精密测量技术新世纪如何迅速发展（3）

不断开发高性能产品 　　

　　需求形势的好转，进一步激发了生产企业开发新产品的积极性。近年来，各公司不断推出高性能的测量机产品。在高分辨率方面，前述索尼公司的YP20/21最为突出，该机是一种超高精度非接触式形状测量机，其Z轴的分辨率高达10nm，重复精度为±30nm。

该公司还生产一种小型激光刻度尺BS77，其分辨率在10nm以下。 　　

　　在形状精密测量方面，最近市场上出现了配装高速高密度扫描测头的三坐标测量机，如东京精密公司开发的CONTURA三坐标测量机就汇集了最新扫描技术，可进行高密度数据采集（200点/秒）。该机安装了高速扫描测头VASTXT，最大扫描速度为70mm/秒，测量范围（X、Y、Z）=700mm×1000mm×600mm。该公司开发的圆度、圆柱形状测量机RONDCOM65A，据称可测量目前世界上可达到的最高回转精度0.01μｍ，测量机上也配有最新的解析程序TIMS，可实现高速高效率精密测量作业，最大测量直径为φ420mm，左右送进范围为220mm，上下送进范围为500mm。 　

　　英国Taylor Hobson公司开发出一种分离式表面形状及粗糙度测量机，操作、显示均采用红外线信号，因此，可对驱动测量部分进行遥控。驱动测量部分采用2μｍ测头，测量范围为1mm，分辨率为16nm。另外，该公司还开发出Tarlyrond 265/290系列圆度及圆柱度测量机，该机测量范围广，可对小至几mm的微型零件，大至75kg的大型零件，进行全自动测量。该机配有自动定心及矫正装置，立柱可上下移动，杠杆可前后移动，可对工件的内圆、外径、端面进行全自动测量。Tarlyrond测量机采用模块化设计，可根据不同需要，选择不同的配置组合。该机的测量范围为φ350～500mm，测量圆度精度为±（0.04μｍ+0.3μｍ/m）。 　

　　Brown & Sharpe 公司开发的PMM-C700测量机采用不移动桥架的结构，从而可长期保证桥架移动型结构难以达到的高精度和高稳定性。该机的最小分辨率为0.005μｍ，可对凸轮轴、涡轮叶片等复杂形状的机械零件进行高速高精度测量。 　

　　齿轮形状曲线复杂，测量起来极为困难。日本大阪精密机械公司开发出一种准双曲面齿轮测量机，型号为HyB-35，该机不仅可进行三坐标测量机那样的晶格结点测量，而且可在线性方面对轮齿的棱边进行测量，从而捕捉到导致出现噪声和振动的微细形状误差，以进一步提高齿轮精度。 　　

　　分辨率达到0.1μｍ的刻度尺 　

　　索尼精密工程公司开发出一种非接触图像测量机，型号为YF10。这是一种利用图像处理技术的精密测量机，机上配置了数字摄像装置，采用了全轴分辨率为0.1μｍ的刻度尺；此外，该机还采用闭环控制系统，可进行高精度测量。 　

　　三丰公司开发出一种快速成像接触测量系统，可使过去利用CCD的图像测量机功能更加完善，操作更为简便。利用此种新型接触测头，也可进行非接触测量。 　　

　　东京精密公司开发的便携式三维测量系统Optigo，是一种高效高速测量三维曲面的新型测量装置，该装置配有新设计的光学系统和数据处理系统，可对汽车的门窗，阻尼器等大型零件进行高速非接触测量。

本篇文章来源于 “中国金属加工在线”