非球面零件超精磨削装置

　　英国Rank Pneumo公司1988年开发了改进型的ASG2500、ASG2500T、Nanoform300机床，这些机床不仅能够进切削加工，而且也可以用金刚石砂轮进行磨削，能加工直径为300mm的非球面金属反射镜，加工工件的形状精度为0.3-O.16μm，表面粗糙度达Ra0.01μm。

　　最近又推出Nanoform250超精密加工系统，该系统是一个两轴超精密CNC机床，在该机床上既能进行超精密车削又能进行超扬密磨削.还能进行超精密抛光。最突出的特点是可以直接磨削出能达到光学系统要求的具有光学表面质量和面型精度的硬脆材料光学零件。

　　该机床采用了许多先进的Nanoform600、Optoform50设计思想，机床最大加工工件直径达250mm，它通过一个升高装置使机床的最大加工工件直径达到450mm，另外通过控制垂直方向的液体静压导轨(Y轴)还能磨削非轴对称零件，机床数控系统的分辨率达O.001μm，位置反馈元件采用了分辨率为8.6nm的光栅或分辨率为1.25nm的激光干涉仪，加工工件的面型精度达0.25μm，表面粗糙度优于Ra0.01μm。

　　Nanocentre250、Nanocentre600是一种三轴超精密CNC非球面范成装置，它可以满足单点和延性磨削两个方面的使用要求，通过合理化机床结构设计、利用高刚度伺服驱动系统和液体静压轴承使机床具有较高的闭环刚度，x和Z轴的分辨率为1.25nm，这个机床被认为是符合现代工艺规范的。CUPE生产的Nanocentre非球面光学零件加工机床，加工直径达600mm.面型精度优于0.1μm，表面粗糙度优于Ra0.01μm。CUPE还为美国柯达公司研究、设计和生产了当今世界上最大的超精密大型CNC光学零件磨床“0AGM2500”，该机床主要用于光学玻璃等硬脆材料的加工，可加工和测量2.5m×2.5m×O.61m的工件，它能加工出2m见方的非对称光学镜面，镜面的形状误差仅为1μm。

　　日本丰田工机研制的AHN60―3D是一台CNC三维截形磨削和车削机床，它能在X、Y和Z三轴控制下磨削和车削轴向对称形状的光学零件，可以在X、Y和Z轴二个半轴控制下磨削和车削非轴对称光学零件，加工工件的截形精度为0.35unl，表面粗糙度达Ra0.016μm。另外东芝机械研制的ULG―100A(H)超精密复合加工装置，它用分别控制两个轴的方法，实现了对非球面透镜模具的切削和磨削，其X轴和Z轴的行程分别为150mm和100mm，位置反馈元件是分辨率为0.01μm的光栅。